MOCVD SiC 코팅 흑연 서셉터

1. 수명 300% 이상 연장

버퍼층 기술을 적용하면 열충격 사이클 횟수를 5,000회 이상(기존 제품의 경우 1,500회 미만)까지 늘릴 수 있습니다.

연속 작동 온도는 1650°C에 도달할 수 있으며, 코팅에는 균열이나 벗겨짐이 나타나지 않습니다.

2. 무공해 보장

SiC 코팅의 순도는 6N 등급(전체 금속 불순물 양 < 0.5ppm)입니다.

SEMI 표준 입자 방출 테스트(클래스 10 청결도)에 통과했습니다.

3. 열장 균일성 업그레이드

바닥면의 온도차는 ±2°C 이내입니다(Φ300mm 사양에 대한 측정 데이터).

열 변형 없이 빠른 가열(20°C/s)을 지원합니다.

4. 우수한 내식성

H2, NH3, TMAl 등의 가스에 의한 부식에 강하며, 사용 수명은 18개월 이상입니다.

표면 거칠기 변화율은 5% 미만입니다(100회 공정 사이클 후 테스트).

5. 전 세계 주류 모델과 호환 가능

직경 50~500mm 범위에서 맞춤 제작이 가능합니다.

6. 전체 수명 주기 비용 최적화

일반 제품에 비해 유지보수 주기가 3배로 늘어났습니다.

에피택셜 웨이퍼의 수율은 2~3% 증가했습니다.

회사 강점

Semixlab Technology Co.,Ltd는 2개의 R&D 센터, 2개의 생산 기지, 12개의 생산 라인, 150명 이상의 직원을 보유하고 있으며, R&D 투자 비중이 30%가 넘습니다. 당사의 제품 레이아웃은 주로 LED, IC 집적 회로, XNUMX세대 반도체, 태양광 등 다양한 산업 분야에 사용됩니다. Semixlab은 강력한 R&D, 생산, 통합 테스트 및 검증 역량을 갖추고 있으며, 매년 수천만 원을 투자하여 기술과 장비를 끊임없이 개선하고 있습니다.

주요 성과 매개변수

프로젝트 매개변수

기본 소재는 SGL 등방성 압축 흑연입니다.

코팅 두께: 80-200μm (맞춤형)

코팅의 순도는 ≥99.9999%입니다.

밀도: 1.85-1.90 g/cm³

열전도도: 125 W/m·K(RT)

굽힘 강도 ≥45 MPa

작동 온도 ≤1800°C(불활성 분위기)

품질 보증 시스템

전체 공정 추적성: 흑연 기판부터 코팅 공정까지 전체 데이터를 기록합니다.

정밀 검출: SEM/EDS 코팅 분석, 헬륨 질량 분석 누출 감지, 고온 열충격 테스트.

CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성:

적용 시나리오 또는 장비: Aixtron Epi 장비

핵심 애플리케이션 시나리오

● LED 칩 제조 : GaN 청색/백색 LED 에피택셜 성장.

● 전력 반도체: SiC/GaN 전력 소자(MOSFET, HEMT).

● 5G 무선 주파수 장치: 고주파 마이크로파 무선 주파수 칩 기판.

● 레이저 다이오드: VCSEL, 에지 방출 레이저 에피택셜 공정.

● 고급 패키징: 고정밀 반도체 박막 증착.

반도체 칩 에피택시 산업 체인 개요: