다공성 흑연

다공성 흑연은 주로 PVT(물리적 기상 전달) 탄화규소(SiC) 단결정 성장 공정에 사용되며, 고온 열장 시스템의 핵심 소재입니다. 본 제품은 초고순도 등압 성형 흑연으로 제작되었으며, 정밀 CNC 가공 및 기공 제어 기술을 통해 균일하고 제어 가능한 다공성 구조를 형성하여 극한 공정 조건(2200℃)에서도 탁월한 성능을 보장합니다. 고유한 설계는 열장 균일도를 크게 향상시키고 기상 전달 효율을 최적화하여 고품질 SiC 결정 성장의 핵심 요소입니다.

핵심 특징 및 프로세스 이점:

극도의 순도와 낮은 불량률

진공 고온 정제 공정(3000℃ 처리)을 통해 산소 및 질소와 같은 비금속 불순물 함량을 더욱 감소시킵니다. 불순물로 인한 결정 결함(미세관, 전위 등)을 제거하여 SiC 단결정의 전기적 성능 일관성을 보장합니다.

초고온 안정성 및 열장 제어

아르곤/진공 환경에서 2200℃에서 1000시간 이상 연속 작동이 가능하며, 열팽창 계수가 낮아 열응력으로 인한 재료 균열을 방지합니다.

다공성은 기울기 분포 설계를 지원하고 CFD 시뮬레이션과 결합하여 기공 크기(10-200μm)를 최적화하고, 열장 분포를 정확하게 조절하고, 온도 기울기 변동을 줄이고(±3℃ 이내), 결정 성장 균일성을 개선합니다.

맞춤형 솔루션

기하학적 적응: 복잡한 형상 가공(환형 도가니, 다층 실드 등)을 지원하고 고객 용광로 구조에 맞춥니다.

표면 처리: 초정밀 연마 또는 코팅 서비스를 제공하여 내식성과 서비스 수명을 향상시킵니다.

애플리케이션 성능 검증

PVT SiC 결정화 공정에서 도가니 및 열장 구성 요소로서:

결정 성장률을 15~20% 증가시킵니다(전통적인 흑연과 비교).

웨이퍼 수율이 90% 이상으로 증가했습니다(4인치 SiC 단결정).

장비의 유지관리 기간이 6개월(기존 3개월)로 연장됩니다.

빠른 세부 사항 :

1. 다른 이름: PVT 흑연 도가니, 다공성 흑연을 이용한 탄화규소 성장.

2. 응용분야 : PVT 방식(물리적 가스 수송 방식) SiC 단결정 성장 코어 열장 구성 요소.

3. 핵심 매개변수: 순도 ≥99.9995%, 기공률 15-30%, 내열성 2200℃(불활성 가스 환경), 열전도도 100-150 W/m·K.

PVT 성장로 조립: SiC 재료 승화 및 결정 성장의 일부로서 안정적인 열장 분포를 제공합니다.

열장 차폐 구성요소: 다공성 구조는 열응력을 효과적으로 감소시키고 장비의 수명을 연장합니다.

종자 결정 브라켓: 종자 결정을 지지하는 높은 기계적 강도로 결정의 방향성 성장을 보장합니다.

가스 확산층: 기체상 전달 효율을 최적화하고, 단결정 품질과 성장률을 향상시킵니다.

초고온 성능: 2200℃에서도 연화 변형이 없어 1000시간 이상의 연속 안정적 작동이 가능합니다.

맞춤형 열장 설계: CFD 시뮬레이션과 결합하여 기공 구배를 최적화하고, 결정 균일성과 수율을 개선합니다.

빠른 반복 서비스: 프로세스 매개변수 매칭 테스트를 제공하고 72시간 이내에 프로토타입 솔루션을 제공합니다.