유리 탄소 코팅

유리질 탄소 코팅은 청결도가 무엇보다 중요한 경우에 주로 사용됩니다. 이 코팅은 흑연 표면을 더욱 매끄럽고 불활성 상태로 만들어 작동 중 입자 발생을 줄이는 데 도움을 줍니다.

실리콘 결정 성장, 에피택시 또는 MOCVD 서셉터와 같은 응용 분야에서 이를 볼 수 있습니다. 경우에 따라 반도체 이외의 분야, 예를 들어 야금 공구에도 사용됩니다.

흥미로운 활용 사례 중 하나는 MBE 시스템에서 찾아볼 수 있습니다. 전기 저항이 높기 때문에 특정 부품이 작동 온도에 더 효율적으로 도달하도록 도와주며, 경우에 따라 추가 냉각이 필요하지 않을 수도 있습니다. 가장 일반적인 코팅은 아니지만, 특히 오염 제어가 엄격한 특정 환경에서는 실용적인 선택이 될 수 있습니다.