석영 부품

석영은 반도체 공정에서 여전히 널리 사용됩니다. 새로운 소재는 아니지만 신뢰성이 높고 대부분의 반도체 제조 공장에서 그 특성을 잘 알고 있습니다. 순도만 잘 관리된다면 확산, 산화, 세척 공정에서 효과적으로 사용할 수 있습니다.

석영 부품은 용광로 시스템이나 PECVD 장비에 많이 사용됩니다. 가장 중요한 것은 안정성입니다. 반드시 긴 수명이 필요한 것은 아니지만 예측 가능한 성능을 보여줘야 합니다. 대부분의 표준 공정에서는 이 정도면 충분합니다.

물론 석영에도 한계는 있습니다. 특히 SiC에 비해 특정 조건에서는 마모가 더 빨리 진행될 수 있습니다. 하지만 비교적 쉽게 구할 수 있고 가격도 그리 비싸지 않기 때문에 여전히 많은 사람들이 사용하고 있습니다.