EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
고순도 SiC 웨이퍼 보트
고순도 SiC 웨이퍼 보트의 중국 선도 제조업체이자 공급업체인 Semixlab의 탄화규소 웨이퍼 보트는 뛰어난 열 안정성, 내식성, 그리고 기계적 강도로 인해 LPCVD, 산화 및 어닐링과 같은 핵심 공정에 널리 사용됩니다. 입자 오염을 최소화하고, 서비스 수명을 연장하며, 웨이퍼 안전을 보장하는 SiC 웨이퍼 보트를 찾고 있다면, 이 제품이 최고의 선택이 될 것입니다.
기술설명
반도체 제조 분야에서 고온 공정은 웨이퍼 캐리어에 극심한 어려움을 안겨줍니다. 온도가 1600℃를 초과하면 기존 석영 캐리어(웨이퍼에 사용되는 석영 보트)가 연화 및 변형되기 시작하여 오염 물질을 방출하여 웨이퍼 폐기율이 급증합니다.
고순도 SiC 웨이퍼 보트는 탄화규소(SiC)의 본질적인 재료적 장점을 갖추고 있어 이러한 산업의 문제점을 완벽하게 해결하고 첨단 반도체 제조, 특히 SiC 전력 소자 생산에 필수적인 도구가 되었습니다.
기술 사양
제품의 핵심 물리적 특성 및 기술적 매개변수:
| 성과 지표 | 고순도 SiC 웨이퍼 보트 | 전통적인 석영 캐리어 | 개선된 장점 |
| 최대 작동 온도 | 1800°C(연속) / 2000°C(피크) | 1200 ° C | 내열성 50% 향상 |
| 열전도율 | 4.9 W/cm·K(실온) | 1.5W/cmXNUMX·K | 방열 효율 226% 증가 |
| 열팽창 계수 | 4-5 × 10⁻⁶/K | 0.55 × 10⁻⁶/K | 열 안정성 7배 향상 |
| 경도 | 모스 9.2(다이아몬드에 이어 두 번째) | 모스 7 | 내마모성 30배 향상 |
| 웨이퍼 접촉점 응력 | <5 MPa (미끄럼 방지 설계) | > 20MPa | 웨이퍼 슬립율 80% 감소 |
| 입자 방출 | 0개 입자/cm² (100등급 청정도) | >50개/cm² 입자 | 오염은 거의 0에 가깝습니다 |
실리콘 카바이드 웨이퍼 캐리어(SiC 웨이퍼 캐리어)의 탁월한 성능은 고유한 재료 과학적 특성에서 비롯됩니다. 주요 물리적 매개변수에 대한 자세한 비교는 다음과 같습니다.
이러한 매개변수는 다음에서 볼 수 있듯이 반도체 제조에서 수율 향상과 비용 절감으로 직접 변환됩니다.
열 성능의 장점: SiC의 넓은 밴드갭(3.26 eV)은 2000°C에서 안정적인 결정 구조를 유지하고 열 변형을 방지합니다. 높은 열전도도(4.9 W/cm·K)는 웨이퍼를 더욱 균일하게 가열하고 열 응력으로 인한 격자 결함을 제거합니다.
기계적 강도: 9.2 모스 경도는 공정 중 물리적 충격에 강하며, 사용 수명은 기존 석영 캐리어보다 10배 이상 깁니다. 독특한 반원형 슬롯 설계는 웨이퍼 접촉 응력을 5MPa 미만으로 제어하여 고온 슬립 현상을 근본적으로 제거합니다.
화학적 불활성: HF 및 HCl과 같은 고도로 부식성 있는 가스에 대한 내성은 10,000시간을 초과하며, LPCVD, 확산, 산화 및 기타 공정에서 오염이 전혀 발생하지 않습니다.
어플리케이션
고순도 SiC 웨이퍼 보트의 핵심 역할
당사의 고순도 SiC 웨이퍼 보트는 다음과 같은 주요 반도체 제조 공정에 널리 사용됩니다.
고온 어닐링: SiC 웨이퍼 제조업체의 생산 라인에서 고온 어닐링은 도펀트를 활성화하고 격자 결함을 복구하는 핵심 단계입니다. SiC 웨이퍼의 고온 안정성은 어닐링 공정의 균일성과 효율성을 보장합니다.
에피택셜 성장: 실리콘 기반 에피택시든 실리콘 카바이드 웨이퍼 에피택시든, SiC 웨이퍼 보트는 고온 저항성과 내식성이 뛰어나 고품질 에피택시층 성장을 보장하는 이상적인 캐리어입니다.
유통 : 고온 확산로에서 LPCVD 웨이퍼 보트 내의 SiC 웨이퍼 보트는 장기간의 고온 처리를 견뎌내어 도핑 원자의 균일한 확산을 보장하고 정밀한 전기적 특성을 형성할 수 있습니다.
박막 증착: 특히 LPCVD 웨이퍼 보트 응용 분야의 경우, SiC 웨이퍼 보트의 극히 낮은 입자 분산과 뛰어난 열전도도는 고품질, 고균일성 필름을 얻는 데 도움이 됩니다.
호환 장비 및 프로세스 호환성:
✔ 주류 LPCVD로(TEL, Kokusai, ASM, SVG, Tystar 등)와 호환 가능
✔ 100mm/150mm/200mm 등 맞춤형 웨이퍼 사양
✔ 수평 및 수직 공정 장비 설치 지원
Semixlab의 SiC 웨이퍼 보트는 공정 효율성과 제품 수율을 개선하는 데 이상적인 선택이며, 고급 반도체 웨이퍼 보트 솔루션 분야를 선도하고 있습니다.
사업분야
Semixlab 제품 매장
Semixlab 제품 매장
