CVD 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅

TaC 코팅은 일반적으로 SiC가 한계에 도달하기 시작할 때 고려됩니다. 이는 온도와 공정 분위기 모두에 더 많은 부담이 요구되는 SiC 에피택시 또는 결정 성장 과정에서 더 자주 발생합니다.

TaC는 녹는점이 훨씬 높기 때문에 특히 수소나 HCl이 있는 환경에서 장시간 고온에 노출되어도 잘 견딥니다. 실제로 이는 열 안정성이 결정 품질에 직접적인 영향을 미치는 PVT 성장과 같은 공정에서 중요한 차이를 만듭니다.

대표적인 적용 분야로는 유동 유도 링, 종자 홀더, ​​도가니 관련 부품 및 열처리 영역 내부의 기타 구조물이 있습니다. 이러한 부품들은 장기간 가혹한 환경에 노출되므로 성능 저하를 줄이는 것이 중요합니다. 일부 설비에서는 TaC가 pBN과 같은 기존 소재는 물론 SiC 코팅 부품까지 점차 대체하고 있지만, 이는 여전히 비용 및 공정 설계에 따라 달라집니다.