CVD 실리콘 카바이드(SiC) 코팅

CVD SiC 코팅은 기본적으로 흑연 위에 증착된 탄화규소 층으로, 온도와 청정도가 중요한 에피택시 장비에 널리 사용됩니다. 실제 생산 라인에서는 AIXTRON, ASM/LPE, Veeco, 그리고 일부 AMAT 관련 플랫폼의 시스템에서 흔히 볼 수 있습니다. 이 코팅의 장점은 내열성뿐만 아니라 장시간 공정에서도 뛰어난 안정성을 유지한다는 점입니다. 일반적인 에피택시 환경(수소, 암모니아, 심지어 염소계 가스)에서도 코팅은 비교적 안정적으로 유지되며 아래쪽 흑연을 보호합니다. 이는 열 분포를 더욱 일정하게 유지하고 성장 과정에서 입자 발생 가능성을 줄여줍니다.

대부분의 경우 코팅은 서셉터, 웨이퍼 캐리어, 흑연 링 또는 반달형 부품과 같은 부품에 적용됩니다. 이러한 부품들은 모두 웨이퍼 가열 또는 위치 지정에 직접적으로 관여하므로 작은 불안정성이라도 수율에 영향을 미칠 수 있습니다. 따라서 코팅된 부품은 소모품으로 취급되지만, 특히 4~12인치 웨이퍼 생산에서는 여러 생산 주기 동안 안정적인 성능을 유지해야 합니다.